يلعب نوع الغاز دورًا حاسمًا في حالة البلازما ، ويؤثر بشكل مباشر على طريقة التعديل ونتيجة سطح مادة البوليمر بالبلازما.تستخدم معالجة سطح البلازما عمومًا غازات غير بوليمرية ، بما في ذلك الغازات غير التفاعلية والغازات التفاعلية.

تشير الغازات غير التفاعلية إلى غازات خاملة مثل He و Ar.عندما تعمل بلازما هذا النوع من الغاز على المادة ، ينشأ الغاز الخامل من سلسلة البوليمر ولا يتحد معها.المعالجة السطحية للبلازما هي حفر السطح وتوليد الجذور الحرة.، ولكن عندما تلامس المادة الهواء ، ستستمر الجذور الحرة الموجودة على السطح في التفاعل مع الغاز النشط في الهواء لإنتاج مجموعات قطبية.

تشير الغازات التفاعلية لمعالجة سطح البلازما إلى بعض الغازات غير العضوية أو المركبات غير العضوية المتطايرة ، وهي شائعة الاستخدام هي O2 ، N2 ، CO2 ، CO ، H2O ، NH3 ، SO2 ، وما إلى ذلك ، والتي تختلف عن الغازات الخاملة غير التفاعلية.عندما تعمل بلازما الغاز التفاعلي على المادة ، يمكن أن تتحد ذرات الغاز مع سلسلة البوليمر لتشكيل مجموعات وظيفية ذات صلة.